纳米是一种几何尺寸的度量单位，1纳米为百万分之一毫米，约等于45个点子排列起来的长度。自从20世纪80年代初发明了点子扫描隧道显微镜后，世界 诞生了一门以纳米为单位的微观世界研究学科-纳米科学。在100nm一下的微笑结构中对物质进行研究吃力的技术称为纳米技术。进入20世纪90年代，纳米科学迅速发展，产生了纳米材料学、纳米化工学、纳米机械学及纳米生物学，等等。

纳米级加工的物理实质和传统的切削、磨削加工又很大的不同，一些传统的切削、磨削方法和规律不能用在纳米级加工领域。

纳米级加工中。试件表面的一个个原子或分子将成为直接加工对象。因此，纳米级加工的物理实质 是要切断原子间的结合，实现原子和分子的去除。在机械加工中，工具材料的原子间结合能大于被加工材料的原子间结合能。

床头的切削、磨削加工消耗的能量密度较小，实际上是利用原子、分子或晶体件联接处商务缺陷进行加工切断原子间的结合相当困难。因此，直接利用光子、电子、离子等基本粒子的加工，必然是纳米级加工的主要方向和主要方法。但纳米级加工要求达到高的精度，使用基本粒子进行加工时，如何进行有效的控制以达到原子级的去除，是实现原子级加工的关键。

近年来，纳米级加工又了很大的突破。例如，用电子束光刻加工超大规模集成电路时，已实现0.1um线宽的加工；粒子刻蚀已实现微米级和纳米级表层材料的去除；扫描隧道显微技术已实现单个原子的去除、搬迁、增添和原子的重组，那你加工技术现状已成为现实的、有宽广发展前景的全新加工领域。